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接觸角測(cè)試儀測(cè)量半導(dǎo)體晶圓表面的實(shí)操過程

發(fā)布時(shí)間:2024-02-28 點(diǎn)擊次數(shù):891

  接觸角測(cè)試儀是一種用于測(cè)量液滴與固體表面接觸角的儀器,可以用于研究半導(dǎo)體晶圓的表面潤濕性能。接觸角是液滴與固體表面接觸時(shí)形成的角度,該角度反映了晶圓表面的親水性或疏水性,以及液體在固體上的潤濕性,包括潤濕速度的分析。通過晶圓接觸角測(cè)試儀來測(cè)量半導(dǎo)體晶圓,常用于實(shí)際的操作過程中:

1首先,準(zhǔn)備好半導(dǎo)體晶圓樣品。確保表面是干凈的,表面無塵和無污垢。

2液滴準(zhǔn)備,一般以純凈水,蒸餾水為宜,液滴是純凈的,沒有雜質(zhì)。水通常用于測(cè)量表面的親水性,而其他液體可以用于研究疏水性表面。

3水滴角在滴液過程中,一般以2微升-5微升液滴為宜,且通過上升樣品平臺(tái)來接液,液滴不會(huì)過度擴(kuò)散或過于局部,也不因重力影響而變形。

4接觸角的相機(jī)拍攝液滴與樣品表面的圖像。接觸角測(cè)試儀的實(shí)際 擬合過程,確保清晰可見液滴的形狀。

5分析軟件或工具測(cè)量液滴與固體表面的接觸角。這個(gè)角度表示了液滴對(duì)固體表面的潤濕性。根據(jù)接觸角的大小,你可以了解樣品表面的親水性或疏水性, 以及液滴在表面上的潤濕性質(zhì)。同時(shí),還可以通過動(dòng)態(tài)的擬合方法,量化水滴角的變化。

  晶圓樣品可取不同的點(diǎn)多次測(cè)量以獲得準(zhǔn)確的接觸角值。半導(dǎo)體晶圓的接觸角測(cè)量是為了確保在制備半導(dǎo)體器件時(shí),液體或氣體與晶圓表面的接觸能夠被精確控制和理解。接觸角是一個(gè)描述液體或氣體與固體表面之間相互作用的物理性質(zhì)的重要參數(shù),通常用來評(píng)估液體在固體表面上的潤濕性。

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